高輸出型芯片周邊曝光用

初期紫外線強度	2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距離）
強度分布的均勻性	10%以下（4x）5mm區(qū)域）
紫外線発光源	紫外發(fā)光二極管
紫外線発光源壽命	20000小時（推定壽命驅(qū)動電流最大時）※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間
照射ON/OFF功能	UV-LED的ON/OFF控制（通過遠程及手動控制點亮/熄滅）
光量調(diào)整機能	UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20～100%
外裝材質(zhì)	不銹鋼
外形寸法	150毫米×200毫米×192毫米

光學(xué)設(shè)計，實現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。

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